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    “哦，这怎么说？”王中军其实对这个思路还是满意的，确实很难，但有实现的可能。

    但要说只有新科能实现，这又凭什么啊？凭胡文海长得帅吗？

    “这方面我是有依据的。”

    钟大华说的信誓旦旦，王中军明显兴趣更大了。

    “在搜索相关文献的时候，我们发现了一个情况。实际上和美国数据库比起来，方案中需要的数据反而更多来自研究院的数据中心。”

    “各种腐蚀液配比的研究资料，近十年来反而是我们自己的研究院数据库更多。”

    “其实这并不难理解，因为我们知道，现在集成电路的制程已经进入了亚微米级，湿法蚀刻早就已经不适应需求了。但在功率半导体上，制程却并不是越小越好。事实上IGCT的制程基本都在3微米以上，IGBT的制程也是在1到3微米之间。”

    “在业界普遍升级干法蚀刻之后，新科作为功率半导体的主要生产商，实际上仍然在大量的采用湿法蚀刻，并且持续多年在湿法蚀刻技术上投资改进升级。”

    “由此积累下来的生产和实验资料，早就已经超出了国际先进水平。”

    钟大华和王中军并不知道，这就是胡文海带来的超前规划红利了。591网 

    IGBT是功率半导体，制程上不仅是不需要跟随数字半导体的制程，甚至更小的制程对性能并不更友好。后世半导体制程都进入10纳米以内了，很多IGBT的制程仍然只有0.5微米，这你敢信？

    而后世中国的半导体产业，同样仍然有湿法蚀刻的一席之地。因为市场上绝大多数的芯片，实际上并不需要最先进的制程。像绝大多数低成本IC、分立器件和微电子机械设备，仍然还是采用湿法蚀刻的。

    湿法刻蚀虽然做不了精细活，但自己也是有优点的。比如说特定的腐蚀剂可以起到专门腐蚀某种材料的作用，只腐蚀材料而不伤害光刻胶、不伤害下层已经形成的结构，这种选择性刻蚀的特性，让它在粗制程下安全性更好，确保不会损伤衬底。

    这几年在新科的持续投入下，国内对湿法蚀刻技术已经吃的差不多了，也因此积累了超过业界水平很多的数据资料。

    正如钟大华所说，如果要走湿法蚀刻的路线，那新科还真是得天独厚。

    王中军最后又看了一眼手上的资料，重重的点了点头。

    “行，你等着，我去跟倪院长汇报一下。”

    ……

    嘎吱一声，一辆军车在半导体所大楼前的广场上停了下来，它的后面跟着的是一连串的大客车、小轿车，甚至是吉普车。

    “下车，整队！”

    一群战士从军卡的后面跳了下来，迅速的排成了整齐的队伍，一个中队长这才转头向王中军跑了过去。

    “是王中军同志吗，我是武警支队三中队的，我姓张。”

    “幸不辱命，这是你们点名指定的其他研究单位的研究员，总算是如期安全送达了！”
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